#晶圆搬运机器人 #HIWIN #EFEM 晶圆机械手根据工作场景分为两大阵营。 大气机械手，高速搬运同时做到低震动，保护贵重晶圆不被划伤。 搭配寻边校准器，自动校正晶圆位置偏差。 有单臂、双臂、翻转多种机型。 双臂可以同步一取一放，拉高生产效率。 还能加装扫片传感器，提前排查叠片斜片风险。 最高做到 Class1 洁净等级，适配 8 寸、12 寸晶圆。 真空机械手则服务于特殊真空腔体工艺。 二者协同，撑起芯片工厂的晶圆搬运。#芯片 #半导体 #PCB设备 #视觉检测设备 #晶圆检测 #半导体设备 #AOI检测设备 #芯片制造 #芯片封装 #半导体芯片